日（rì）本成功（gōng）開發出微型風速傳（chuán）感器

 東京大學研究生院（yuàn）情報理工學係研（yán）究科教授下山勳的研究小組開發成（chéng）功了可安裝在（zài）蜻蜓（tíng）等昆蟲的翅膀（bǎng）上（shàng），可分析翅膀動作的微型風速傳感器，並（bìng）在MEMS國際（jì）學會“MEMS2008”（美國（guó）亞利桑那州圖森市，08年1月13～17日）上結合（hé）現場演（yǎn）示進行了發表。

　　該小（xiǎo）組開（kāi）發的微型風速傳感器尺寸約為3mm見方，厚度約為（wéi）1mm。在3mm見方的芯片上配備了2個（gè）傳感器，每（měi）個傳感器的尺寸約為（wéi）1.5mm×3mm。

　　下山（shān）研究小組在開發MEMS的（de）同時，還研究昆蟲的動作。這是受原東京大學工（gōng）學（xué）係機（jī）械情報工學專業教授三浦宏（hóng）文曾在該研究室研究昆蟲活（huó）動的影響。此次傳感器的開發（fā）目的（de）是將（jiāng）MEMS技術應用於（yú）昆蟲的動作解析中。

　　傳感（gǎn）器采用在帶電極的SOI底板上形成（chéng）長約0.5mm、厚1μm以下的懸臂（bì）梁（懸臂彈簧）壓電電（diàn）阻（zǔ）的構造。壓電電阻（zǔ）采用矽半導體，當風吹向懸臂，懸臂產生（shēng）應變時，這一應變（biàn）會使電阻發生變化，這樣就會（huì）得到變形（xíng）的（de）數值，進而獲得（dé）風的強度值。懸臂部分的重量僅為0.1μg。

　　傳感器的性能方麵，已確（què）認可實（shí）現此前（qián）的目標——測量-2m/s～2m/s的風速。此（cǐ）前曾擔心把傳感器安裝到1秒內上下振動數次的翅膀上，懸臂會因為翅膀的加速度而產生噪音（yīn）。而（ér）此次也（yě）把其影響減小到（dào）了測定值（zhí）的（de）3～10％（標準5%），已確（què）認實際應用時沒有問題。“傳感器（qì）的共振（固有）頻率為10Hz以上，（對於數Hz的翅膀振動頻率而言）基本不受影響”（山下研究小組發布人員）

　　昆蟲和MEMS成（chéng）為課題之一

　　此次的（de）MEMS2008上，除（chú）上（shàng）述成果外，還有幾件關於（yú）在昆蟲研究中應（yīng）用MEMS的研究成果發布。尤（yóu）其引人注目的發布是（shì），在銅花金（jīn）龜（guī）子和蛾的神經上安裝電極、類（lèi）似遙控（kòng）玩具（jù）那樣進行操控的技術（均在1月17日）。

　　美國國（guó）防部研究機構“國防高（gāo）級研究計劃局（jú）（DARPA）”07年公布了昆蟲（chóng）的準（zhǔn）機器人計劃“HybridInsectMEMS（HI-MEMS）”。此次關於銅花（huā）金龜子和蛾的研究也得到了DARPA的援助。